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　　1.生(sheng)產設備之選(xuan)擇、布置與保養(yang)：

　　a.要選用發塵性較(jiao)少的生產設備及相關設備，尤其(qi)須注意活(huo)動部(bu)分之發塵。

　　b.應(ying)選擇塵埃之影響(xiang)較小的生產設備(bei)或接口設備(bei)。

　　c.生(sheng)產用(yong)之水、氣體(ti)、藥品等(deng)往往是造(zao)成污染(ran)的原因，故應(ying)配備過(guo)濾裝(zhuang)置。

　　d.規(gui)劃各設備之配置空間時，事(shi)先(xian)宜考慮(lv)不易積累微(wei)塵之結構，規(gui)劃各并以容(rong)易清潔為(wei)原則。

　　e.真空泵等容易產(chan)生污(wu)染物的這類設備，應設置(zhi)在無塵室外面或回(hui)風區，并加(jia)裝排(pai)氣管線排(pai)氣。

　　f.設置(zhi)給(gei)水管線、氣體管線和電氣系統(tong)時，其構造須考(kao)慮到容易清潔(jie)，不易積累污染物。

　　g.生產及(ji)相(xiang)關設(she)備應定期清掃，以避免微(wei)塵之堆(dui)積。

　　h.應(ying)加強注意室內的溫濕度(du)控制(zhi)，避免因濕度(du)之(zhi)不當造成結露生銹。

　　i.當設備維(wei)修(xiu)時(shi)易(yi)產(chan)生微塵粒子，故維(wei)修(xiu)時(shi)盡量于清潔室外進行(xing)，并加(jia)隔離(li)(li)柵隔離(li)(li)。

　　j.對于施(shi)工或維(wei)修(xiu)之廠商，應(ying)告知進出無塵室之各項規定(ding)，且負(fu)責工程師(shi)應(ying)隨(sui)侍在側監工。

　　k.應(ying)有(you)無(wu)塵室專用工具(ju)組(zu)，但不得(de)帶(dai)出無(wu)塵室外使(shi)用。

　　l.規劃空(kong)間時(shi)若能臨近(jin)無塵室(shi)(shi)設立(li)一(yi)(yi)間維修和(he)設備保養手冊(ce)置放(fang)室(shi)(shi)，將是一(yi)(yi)理想(xiang)之規劃。

　　2.生產設備之防塵措施：

　　a.磨(mo)損、切削均為(wei)發生微塵之原因，故需將發塵部分掩蓋之。

　　b.易產生(sheng)塵(chen)埃之設備(bei)，若能(neng)的話應布置于風尾地點。

　　c.在操作時，盡量減少接(jie)觸(chu)零件(jian)或產品。

　　d.不得有太大或不必要(yao)的操作(zuo)動作(zuo)，以免卷起附近之灰塵。

　　e.各項廠務設(she)施之供應如水(shui)、氣體和(he)化學品于進入生(sheng)產設(she)備前應有過(guo)濾設(she)備。

　　f.為不使氣體或(huo)液體滯留，造成微污染，故(gu)管路配置應有旁路閥之設置。

　　3.自動(dong)化(hua)與無塵化(hua)：

　　a.設立自動化傳送系統，可減少(shao)人員方(fang)面所帶來的污染，唯費用相當昂貴，須詳加(jia)評估(gu)。

　　b.建立管(guan)制項目如進(jin)入無(wu)(wu)塵(chen)室(shi)人(ren)員(yuan)的資(zi)格限定，無(wu)(wu)塵(chen)室(shi)作業(ye)人(ren)員(yuan)作業(ye)規則，無(wu)(wu)塵(chen)室(shi)管(guan)理(li)規則等(deng)。