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占據面板成本1/4的關鍵組件!CF制程、檢測及工藝流程圖匯總

編輯:songqiuxia 2017-11-14 08:51:43 瀏覽(lan):11115  來源:未知

  Color Filter(彩色濾光(guang)(guang)片)是(shi)組成(cheng)(cheng)(cheng)面板(ban)中最重要的(de)關鍵零(ling)組件,占面板(ban)制(zhi)造(zao)總成(cheng)(cheng)(cheng)本約四分之一,制(zhi)造(zao)生(sheng)產方(fang)式是(shi)在素玻璃基板(ban)上用紅、綠(lv)、藍(lan)(lan)色的(de)光(guang)(guang)阻液原(yuan)料,用黃(huang)光(guang)(guang)蝕刻(ke)方(fang)式或是(shi)其(qi)它技術(如顏料分散或轉印(yin)方(fang)法)形(xing)成(cheng)(cheng)(cheng)與紅、綠(lv)、藍(lan)(lan)三原(yuan)色的(de)長(chang)條形(xing)數(shu)組的(de)基板(ban)。

  當(dang)背(bei)面的光(guang)(guang)源穿透每一個(ge)(ge)畫素(su)(pixel)內的紅(hong)、綠、藍濾(lv)光(guang)(guang)片(pian)與被(bei)電路驅動(dong)呈現灰階(jie)的液(ye)晶(jing)(jing)后(hou),會變(bian)成有(you)不(bu)同(tong)比例的三種原(yuan)色(se)(RGB)之(zhi)混合(he)光(guang)(guang)。肉眼所看到的彩色(se)影像(xiang)就是光(guang)(guang)透過一個(ge)(ge)個(ge)(ge)有(you)濾(lv)光(guang)(guang)片(pian)的液(ye)晶(jing)(jing)小格子變(bian)成之(zhi)混合(he)光(guang)(guang)組成的結果。

  所(suo)謂的(de)TFT面(mian)板制造,簡單(dan)的(de)說,就是將(jiang)一(yi)片(pian)彩色(se)濾光片(pian)和一(yi)片(pian)有主(zhu)動矩陣(Active Matrix)的(de)玻(bo)璃基板組合,兩(liang)邊貼(tie)上(shang)偏光板,再加上(shang)驅動電路(lu)及框架(jia)的(de)過(guo)程。

  CF的種類

  •   Dye (染色法)
  •   Dry Film (色層貼付) – 35KCF
  •   Pigment Dispersion (顏料分散法)

  CF制程

  1.分工概況

  薄膜

  •   BM/ITO sputter
  •   BM photo lithography
  •   BM etching

  黃光

  •   R/G/B photo lithography & cure
  •   Protrution (DD) photo lithography & cure、
  •   Photo-spacer (PS) photo-lithography & cure

  檢測

  •   Defect Inspection
  •   Final Inspection
  •   Repair

  CF制程基本步驟

  正光阻制程 : 光(guang)阻照到紫外光(guang)的部份會在后續顯影步驟(zou)中被移(yi)除。如 : BM, DD.

  負光阻制程 :光阻沒(mei)照到紫外光的部份會(hui)在后續顯影步驟中被移除(chu)。如 : R, G, B, PS.

  CF制作流程圖

 

  BM制程

 

  RGB制程(RGB process)

 

  ITO制程

 

  MVA制程

 

  CF Process Flow

 

  最終檢查

  黑色矩陣制程

 

  RGB制程(RGB process)

 

  ITO制程(ITO Sputtering process

 

MVA制程(Multi-domain Vertical Alignment)

  

CF結構

  正視圖

 

  剖面圖

 

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