記者1月(yue)16日從中國科學(xue)院重(zhong)慶(qing)綠(lv)色智(zhi)能技術研(yan)究(jiu)院獲悉(xi)，該院成功研(yan)制了用于(yu)微電子光(guang)(guang)刻的“2-12英寸UVLED平行(xing)光(guang)(guang)曝光(guang)(guang)模(mo)組(zu)”及(ji)用于(yu)PCB、液(ye)晶面板和觸摸屏(ping)等光(guang)(guang)刻裝備(bei)的“5KW、8KW、10KW汞燈替代UVLED光(guang)(guang)源模(mo)組(zu)”系列(lie)產品。
據中(zhong)國科(ke)(ke)學(xue)院重慶綠色(se)智能(neng)技(ji)術(shu)(shu)(shu)研(yan)究(jiu)院相關項目負責人(ren)介紹，光(guang)(guang)刻機(ji)是液晶面(mian)(mian)(mian)板(ban)(ban)制造(zao)裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)備(bei)(bei)中(zhong)投資份額(e)最大(da)的(de)關鍵(jian)(jian)裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)備(bei)(bei)，其關鍵(jian)(jian)技(ji)術(shu)(shu)(shu)始終受制于(yu)國外(wai)企業(ye)，限制了(le)(le)行業(ye)發(fa)展(zhan)。為打破(po)液晶面(mian)(mian)(mian)板(ban)(ban)行業(ye)光(guang)(guang)刻裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)備(bei)(bei)國外(wai)壟斷的(de)局(ju)勢(shi)，針對(dui)電子信息領域對(dui)技(ji)術(shu)(shu)(shu)先進、節能(neng)環(huan)保的(de)低成本曝光(guang)(guang)裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)備(bei)(bei)需求，中(zhong)科(ke)(ke)院重慶研(yan)究(jiu)院開展(zhan)了(le)(le)基(ji)于(yu)UVLED光(guang)(guang)源(yuan)的(de)新型(xing)曝光(guang)(guang)模(mo)組(zu)研(yan)究(jiu)，突破(po)了(le)(le)LED/LD光(guang)(guang)學(xue)擴展(zhan)量(liang)求解與束角變換理(li)論、LED多自由曲面(mian)(mian)(mian)精確配光(guang)(guang)技(ji)術(shu)(shu)(shu)、紫外(wai)波段自由曲面(mian)(mian)(mian)無(wu)機(ji)光(guang)(guang)學(xue)組(zu)件批量(liang)化制造(zao)技(ji)術(shu)(shu)(shu)、光(guang)(guang)機(ji)電系統集成等(deng)(deng)多項關鍵(jian)(jian)技(ji)術(shu)(shu)(shu)，成功研(yan)制了(le)(le)用于(yu)微電子光(guang)(guang)刻的(de)“2-12英寸UVLED平(ping)行光(guang)(guang)曝光(guang)(guang)模(mo)組(zu)”及用于(yu)PCB、液晶面(mian)(mian)(mian)板(ban)(ban)和觸(chu)摸屏等(deng)(deng)光(guang)(guang)刻裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)備(bei)(bei)的(de)“5KW、8KW、10KW汞燈(deng)替代UVLED光(guang)(guang)源(yuan)模(mo)組(zu)”系列產品(pin)，產品(pin)強度(du)、均勻(yun)度(du)等(deng)(deng)多項關鍵(jian)(jian)指標均優于(yu)國外(wai)原廠配置，并可(ke)滿足2um級線條的(de)制作，產品(pin)技(ji)術(shu)(shu)(shu)達(da)到國際(ji)領先水(shui)平(ping)。目前，研(yan)發(fa)團隊已與重慶方正、深(shen)南電路等(deng)(deng)大(da)型(xing)企業(ye)達(da)成合(he)作協議，配合(he)企業(ye)完成光(guang)(guang)刻裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)備(bei)(bei)的(de)升級改造(zao)，市(shi)場上該類光(guang)(guang)刻裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)備(bei)(bei)超過(guo)5萬臺，產值(zhi)將達(da)50億元以上。
據悉，我(wo)國加入了《水俁公約(yue)》，2020年之前(qian)禁(jin)止進出(chu)口和(he)生產含汞類的(de)(de)(de)商(shang)品(pin)，“液晶面(mian)板(ban)低成本光(guang)(guang)(guang)(guang)刻(ke)(ke)工藝與裝備(bei)(bei)開(kai)發及(ji)應用(yong)”項目(mu)研發的(de)(de)(de)UVLED光(guang)(guang)(guang)(guang)源模組為(wei)(wei)大勢所(suo)趨，采用(yong)高效節(jie)(jie)能環保的(de)(de)(de)UVLED陣列作為(wei)(wei)曝光(guang)(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)(guang)源，通過自由曲(qu)面(mian)精確配光(guang)(guang)(guang)(guang)與復眼(yan)勻光(guang)(guang)(guang)(guang)方案，實現大面(mian)積高強度均勻曝光(guang)(guang)(guang)(guang)，滿足現有光(guang)(guang)(guang)(guang)刻(ke)(ke)機(ji)汞燈(deng)光(guang)(guang)(guang)(guang)源的(de)(de)(de)升級(ji)改(gai)造需求。單(dan)從電費計算，每臺UVLED設備(bei)(bei)每年可為(wei)(wei)企(qi)業節(jie)(jie)省約(yue)8萬元的(de)(de)(de)使用(yong)成本，若目(mu)前(qian)市場(chang)上5萬臺汞燈(deng)光(guang)(guang)(guang)(guang)刻(ke)(ke)裝備(bei)(bei)全部升級(ji)改(gai)造，每年可節(jie)(jie)約(yue)用(yong)電成本40億元。上述產品(pin)已申報專利(li)(li)15項，其中已授權發明專利(li)(li)2項。
針對目(mu)前(qian)的(de)(de)機遇與(yu)挑戰，在“重慶(qing)市液(ye)(ye)晶(jing)(jing)面(mian)板(ban)產業共性關鍵技術創(chuang)新主題(ti)專項”的(de)(de)大(da)力(li)支持，重慶(qing)院同(tong)重慶(qing)京東方光(guang)(guang)電科技有限公(gong)司(si)及重慶(qing)郵(you)電大(da)學(xue)合作，計劃(hua)將紫外LED光(guang)(guang)源系統引入到液(ye)(ye)晶(jing)(jing)面(mian)板(ban)光(guang)(guang)刻(ke)裝備中(zhong)，以“增(zeng)強液(ye)(ye)晶(jing)(jing)面(mian)板(ban)相關企業的(de)(de)盈利能(neng)力(li)和競(jing)爭力(li)，促進重慶(qing)液(ye)(ye)晶(jing)(jing)面(mian)板(ban)行業的(de)(de)長久(jiu)發(fa)展”為目(mu)標，著力(li)開發(fa)用于液(ye)(ye)晶(jing)(jing)面(mian)板(ban)制造的(de)(de)低成本(ben)光(guang)(guang)刻(ke)工藝與(yu)裝備。
來源：華龍網
關注我們
公眾號：china_tp
微信名稱：亞威資訊
顯示行業頂級新媒體
掃一掃即可關注我們
