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上海天馬微電子有限公司工程師樓均輝

　　在2016中國平板(ban)顯示學術(shu)大會的(de)TFT器(qi)件及相(xiang)關(guan)技(ji)術(shu)分論壇上(shang)，上(shang)海天馬微電子有限公司工程師樓均(jun)輝帶來題為(wei)《金屬氧(yang)化物TFT閾(yu)值對LCD顯示屏的(de)可(ke)靠性的(de)影(ying)響》的(de)主(zhu)題演(yan)講(jiang)，以下為(wei)演(yan)講(jiang)文字實錄：

　　天馬從2012年(nian)(nian)開始(shi)正式研發氧(yang)化物TFT，一(yi)(yi)開始(shi)的(de)時(shi)候(hou)，應該說(shuo)還(huan)很順利(li)，第一(yi)(yi)年(nian)(nian)我(wo)(wo)們就把(ba)(ba)TFT推行(xing)做得還(huan)可以，顯示的(de)樣(yang)品(pin)也(ye)做出來了(le)，但是我(wo)(wo)們差不多(duo)花(hua)了(le)兩(liang)到三年(nian)(nian)時(shi)間(jian)，才(cai)把(ba)(ba)TFT特(te)性(xing)基(ji)本管控(kong)住了(le)。換句話(hua)在這過(guo)程中我(wo)(wo)們也(ye)走了(le)很多(duo)彎路，我(wo)(wo)們花(hua)了(le)兩(liang)到三年(nian)(nian)時(shi)間(jian)以后把(ba)(ba)TFT特(te)性(xing)控(kong)制住，也(ye)花(hua)了(le)一(yi)(yi)年(nian)(nian)的(de)時(shi)間(jian)才(cai)把(ba)(ba)TFT特(te)性(xing)調整到需(xu)要驅動(dong)一(yi)(yi)級(ji)顯示的(de)要求(qiu)范圍里了(le)。下面跟大家(jia)分(fen)享一(yi)(yi)下我(wo)(wo)們碰到的(de)問題。

　　TFT主要的(de)指標(biao)性能參數包(bao)括閾值、牽引率、開關比，對氧化(hua)物來說(shuo)(shuo)閾值是更重要的(de)，因為(wei)它受到自身的(de)影響，可能它的(de)閾值經(jing)常會(hui)發生變化(hua)，或者說(shuo)(shuo)出現異常。

　　這是(shi)我們采(cai)用氧化物TFT結構(gou)，這個結構(gou)是(shi)大家比(bi)較常見的。因為大家也知道對(dui)于(yu)顯示(shi)屏來(lai)說，對(dui)窄(zhai)邊框的要求是(shi)越來(lai)越高(gao)，邊框的顯示(shi)屏就(jiu)必須(xu)采(cai)用集成(cheng)電路，整(zheng)個驅動電路里，輸(shu)出管(guan)是(shi)T4，所以(yi)T4是(shi)最(zui)(zui)大的管(guan)子，也是(shi)最(zui)(zui)重要的TFT。

　　剛才說到(dao)(dao)氧(yang)(yang)化(hua)物TFT它很多因素受到(dao)(dao)自(zi)身和結構(gou)的(de)(de)影響，反過頭來(lai)(lai)(lai)說我們也很容易通過自(zi)身和結構(gou)來(lai)(lai)(lai)實現(xian)它不(bu)同(tong)(tong)的(de)(de)特性(xing)，這張(zhang)圖(tu)里面(mian)我們采用(yong)三種(zhong)不(bu)同(tong)(tong)的(de)(de)工(gong)(gong)藝制(zhi)成，從而實現(xian)了它不(bu)同(tong)(tong)的(de)(de)TFT的(de)(de)閾(yu)值(zhi)，我們用(yong)ABC來(lai)(lai)(lai)表(biao)示，A這個(ge)圖(tu)是(shi)(shi)(shi)最負的(de)(de)，B會(hui)正(zheng)(zheng)一點，C就(jiu)更(geng)正(zheng)(zheng)。我們把(ba)(ba)這三種(zhong)管子用(yong)到(dao)(dao)顯示屏里面(mian)就(jiu)會(hui)收到(dao)(dao)不(bu)同(tong)(tong)的(de)(de)效果，A這種(zhong)特性(xing)制(zhi)作(zuo)出來(lai)(lai)(lai)的(de)(de)顯示屏，我們發現(xian)它會(hui)出現(xian)異(yi)(yi)(yi)(yi)常(chang)，這個(ge)異(yi)(yi)(yi)(yi)常(chang)就(jiu)表(biao)現(xian)為(wei)由橫(heng)紋和動脈沖，如果我們側來(lai)(lai)(lai)它的(de)(de)三個(ge)輸出端可(ke)以看出，A就(jiu)是(shi)(shi)(shi)異(yi)(yi)(yi)(yi)常(chang)的(de)(de)多脈沖。B是(shi)(shi)(shi)正(zheng)(zheng)常(chang)工(gong)(gong)作(zuo)的(de)(de)，假(jia)如把(ba)(ba)顯示屏放到(dao)(dao)85度(du)(du)下(xia)面(mian)，也出現(xian)類似A的(de)(de)異(yi)(yi)(yi)(yi)常(chang)，它的(de)(de)異(yi)(yi)(yi)(yi)常(chang)也是(shi)(shi)(shi)出現(xian)橫(heng)紋，我們測量(liang)數值(zhi)也會(hui)發現(xian)多脈沖。C的(de)(de)濕(shi)溫(wen)和橫(heng)溫(wen)都是(shi)(shi)(shi)正(zheng)(zheng)常(chang)的(de)(de)。B和C濕(shi)溫(wen)下(xia)是(shi)(shi)(shi)能(neng)夠正(zheng)(zheng)常(chang)工(gong)(gong)作(zuo)的(de)(de)，但B是(shi)(shi)(shi)在(zai)不(bu)同(tong)(tong)溫(wen)度(du)(du)下(xia)的(de)(de)特性(xing)曲線，溫(wen)度(du)(du)升高(gao)的(de)(de)時候，它會(hui)發生顯著的(de)(de)負向(xiang)。在(zai)常(chang)溫(wen)下(xia)都是(shi)(shi)(shi)能(neng)正(zheng)(zheng)常(chang)工(gong)(gong)作(zuo)的(de)(de)TFTC都是(shi)(shi)(shi)能(neng)正(zheng)(zheng)常(chang)工(gong)(gong)作(zuo)的(de)(de)，高(gao)溫(wen)下(xia)氧(yang)(yang)化(hua)物TFTC的(de)(de)負偏壓(ya)穩(wen)定性(xing)曲線是(shi)(shi)(shi)沒有受到(dao)(dao)光照的(de)(de)影響，就(jiu)是(shi)(shi)(shi)因為(wei)負值(zhi)更(geng)正(zheng)(zheng)一些。

　　總結來說，對(dui)于VSR電路行(xing)驅(qu)(qu)動(dong)的(de)(de)窄邊(bian)框(kuang)氧化物驅(qu)(qu)動(dong)的(de)(de)LCD顯示(shi)(shi)，閾值(zhi)必須(xu)調整多足(zu)夠正(zheng)才能保證VSR電路的(de)(de)正(zheng)常工作，否則(ze)容易出現異(yi)常多脈沖輸入不良，同時需提(ti)高氧化物在(zai)高溫下光照的(de)(de)負(fu)偏壓穩定性(xing)，以提(ti)高顯示(shi)(shi)屏的(de)(de)可靠(kao)性(xing)。